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1938年9月，日军调集两万多兵力，兵分10路，向晋察冀根据地进行大规模进犯。其中一路经忻县、定襄向东冶、五台城进犯；一路由盂县、上社直趋五台；一路由代县、峨口侵入五台。10月3日，五台城失陷，日军109师团在五台城、东冶镇附近各布置了一个步兵大队。

1939年5月22日，第109师团将五台作战地域防务移交给第36师团，1939年12月，第36师团调晋东南，五台又换独立混成第3旅团驻扎，一直到1945年8月日军宣布投降为止。

独立混成第3旅团通常在五台驻守一个步兵大队，大队部驻五台城，下属四个中队，一个山炮小队，共585人。每小队（班）建制多至十四、五人，少至八、九人不等。小队配有步枪十余支，掷弹筒一具，手榴弹若干，轻机枪一挺，重点小队还配有无线电台。各中队之间均以电话相通。大队长先后由下枝、藏重、东野等担任。

第一中队驻于五台城，兵力130名，中队部有一个小队的兵力，下属分队和小队分布于田家村、少军梁、大石岭、东冶、大王村、济胜桥、阁子岭、郭家庄、探头、孤峪沟、河边火车站、善文、南头等据点，大部分据点配有电台。据点兵力为4人或5人。

第二中队驻于横岭据点，兵力95名，辖松岩口、狐峪口、西梁三个堡垒，各驻守一个班。其余兵力随中队部机动。

第三中队驻北高洪口，兵力125名，辖耿镇、照吞口、马头山、旺家村、西天和、横墙湾等据点。据点内通常有一个班的兵力。

第四中队驻石佛寺，兵力110名，辖坪上、白家庄、砂崖、王城、东峪口等据点。

五台山驻有第七大队的高桥中队（第七大队驻繁峙县大营一带），共有兵力130人，中队部驻台怀镇，下辖榆林、石咀、杨柏峪、黄土咀、鸿门岩和繁峙县的狮子坪等据点。

1944年下半年，日军转向战略防御，被迫退出清水河一线的据点，1945年8月，日本宣布无条件投降后，五台境内之日军，全部退至县城。